Chemical Supply Unit SetUP

  • CCSS Room 내 CDS Master Monitoring 시공 설계
  • CDS Master Monitoring & 부대설비 시공 설계
  • Master Monitoring 사후 관리
  • CCSS Room 내 Master Monitoring 구축 공사 (반도체, 디스플레이, OLED, 광에너지)
  • CCSS Room 내 선로 구축 공사 (Tray & Conduit 설계 및 현장 맞춤 시공)
  • Master Monitoring 통신 시스템 구축 공사 (Master Panel 간 CLK, 광통신, 이더넷 통신 공사)
  • CDS Unit Set-up 공사
  • 고객사 요청에 의한 사후 관리

Fab 내 구축 공사

  • Fab 내 Leak Monitoring 시공 설계
  • POU Hook-up Monitoring 시공 설계
  • 사후 관리
  • Fab 내 Leak Monitoring 구축 공사 (반도체, 디스플레이, OLED, 광에너지)
  • Fab 내 POU Hook-up Monitorign 구축 공사 (반도체, 디스플레이, OLED, 광에너지)
  • Monitoring Panel 설계, 제작, 현장 설치
  • Fab 내 선로 구축 공사 (Tray & Conduit 설계 및 현장 맞춤 시공)
  • Leak & POU Monitoring 구축 공사
  • 고객사 요청에 의한 사후 관리

CMP 내 구축 공사

  • CMP 내 Leak Monitoring 시공 설계
  • POU Hook-up Monitoring 시공 설계
  • 사후 관리
  • CMP 내 Leak Monitoring 구축 공사 (반도체, 디스플레이, OLED, 광에너지)
  • CMP 내 POU Hook-up Monitorign 구축 공사 (반도체, 디스플레이, OLED, 광에너지)
  • Monitoring Panel 설계, 제작, 현장 설치
  • CMP 내 선로 구축 공사 (Tray & Conduit 설계 및 현장 맞춤 시공)
  • Leak & POU Monitoring 구축 공사
  • 고객사 요청에 의한 사후 관리